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    硅片拋光液
    我公司以自主研發生產的高純二氧化硅磨料為基礎開發出SW-1002硅片粗拋光用拋光液,此款拋光液稀釋比高、拋光后表面易清洗。
    產品被廣泛應用于集成電路襯底制造中。

    性能指標

    檢測項目

    檢測方法

    指標值

    外觀

    目測

    乳白色液體

    固含量(%)

    重量法

    40±2

    pH值(20℃)

    pH計

    11.5-12.5

    粒徑(nm)

    激光粒度分析儀

    80±10

    大顆粒數(parts/ml)

    大顆粒計數器

    ﹤1000000

    包裝方式

    20L藍色塑料桶包裝,每桶可裝25kg;也可按客戶要求包裝。

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